这还不是专业术语呢?
尼尔森就闭眼想想说:“好吧,我换一种说法。兰光公司的这个浸入式设备,已经面临淘汰,迫使他不得不投入很多的资金和人才,来研究EUV光刻机。而据说这个技术,ASML已经有了突破。”
“等等。”郑国霖打断她问,“什么叫EUV?”这个词他听着耳熟。
尼尔森回答说:“就是极紫外光。你知道,光波越短,越容易被吸收掉。这样,最终通过掩膜投影到晶圆镀膜上的光线,就很难达到要求的强度。但越短的光波,分辨率就越好,可以在单位面积晶圆上,制造更多的二极管。
这个极紫外光,理论上可以达到3nm的线路宽度。当然了,这里面又要牵扯摩尔定律,就不和你解释了,你只是听就可以了。”
郑国霖心说,我听也得能听明白啊?得,死记硬背吧,回去鹦鹉学舌跟专家学一遍,看里面有没有有用的东西。
就听尼尔森继续说:“浸入式技术,刻录的光线需要经过一层水膜,光线损失很大,无法和EUV联合使用,这是个遗憾。所以浸入式光刻机,在不久的将来,是要被淘汰掉的。
兰光公司深知这一点,这是他们不惜成本,全力以赴攻关EUV光刻机的根本原因。可惜,到现在为止,他们还是不能投入实际运用。”
说到这里,尼尔森突然不说了。
时间已经很晚了,郑国霖还是一头雾水,什么有用的东西都没听到。
他还不敢着急,只能静静地等着尼尔森的下文。
过了差不多有一分钟,尼尔森才说:“做为兰光公司的资深技术管理人员,我有幸参与了公司这个研究团队。虽然兰光公司至今还没有成功,但是,还是有了许多技术上的突破。
比如,极紫激光光源波段的纯化,我们设计了一种特殊的玻璃晶体,这个恐怕ASML都不见得知道。而这个玻璃晶体的配方和构造,我是知道的。”
郑国霖还是不置可否。他根本不知道对方在说什么。
就听尼尔森继续说下去。
“极紫光源很容易在经过反光镜组和掩膜的时候被吸收掉,这就需要效率极高的反光镜,更多的收集照射光源。
这个反光镜的制造,尼康等一些知名制造公司也制造不了。只有德国一家公司可以制造。他们只提供产品给我们和ASML。”
说到这里,她就问郑国霖:“你知道这个反光镜的重要性吗?”
郑国霖摇头。她说这一堆,他觉得有用的,只有那个什么玻璃晶体。
尼尔森知道自己在对牛弹琴,可没有办法,为达成交易,她只能继续往下谈。
“这相当于一台照相机,照相机上面所有的技术,世界上都知道。可是,相机镜头,却不是每一个公司都可以制造。”
郑国霖感觉,尼尔森快说到实质问题了。